MEMS加速度传感器

MEMS 系列可从静态和低频加速度开始测量。单轴适合方向明确的测点，三轴记录空间加速度，六自由度进一步记录三轴角速度。根据测量任务比较量程、带宽、零点特性、供电及单端或差分输出。